1、真空泵(beng)的工作壓強(qiáng)應該滿足真(zhen)空設備的極(jí)限真空及工(gong)作壓強要求(qiu)。如：真空鍍膜(mo)要求1×10-5mmHg的真空(kong)度，選🔴用的真(zhen)空泵的真空(kong)度至少要5×10-6mmHg。通(tong)常選擇泵的(de)真空度要高(gāo)于真空設備(bei)真空度半🌈個(gè)到一個數量(liang)級。

　　2、正确地選(xuan)擇真空泵的(de)工作點。每種(zhǒng)泵都有一定(ding)的工作壓強(qiang)🌈範🈲圍，如：擴散(san)泵為10-3~10-7mmHg，在這樣(yang)寬壓強範圍(wéi)内，泵的抽速(su)随壓強而變(biàn)化✏️，其穩定的(de)工作壓強範(fan)圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵(bèng)的工作點應(ying)該選在這個(ge)範圍之内，而(ér)不‼️能讓它在(zài)10-8mmHg下長期工作(zuo)。又如钛🏃升華(huá)泵可以在10-2mmHg下(xia)工作，但其工(gōng)作壓強應小(xiǎo)于1×10-5mmHg為好。

　　3、真空(kōng)泵在其工作(zuo)壓強下，應能(néng)排走真空設(shè)備工藝❄️過程(chéng)中産生的全(quan)部氣體量。

　　4、正(zhèng)确地組合真(zhēn)空泵。由于真(zhēn)空泵有選擇(zé)性抽氣，因💁而(ér)，有時選用🏃🏻一(yi)種泵不能滿(mǎn)足抽氣要求(qiú)，需要幾種泵(beng)組合起來，互(hu)相補充才能(néng)滿足抽氣要(yào)求。如钛升💰華(huá)泵對氫有很(hěn)高的抽速，但(dan)不能抽氦，而(er)三極型濺射(she)離子泵，（或二(èr)極型👣非對稱(cheng)陰極濺射離(li)子泵）對氩有(yǒu)一定的抽速(sù)，兩者組合起(qǐ)來，便會使真(zhēn)空裝置得到(dào)較好的真空(kong)🚶度。另外，有的(de)真🧡空泵不能(neng)在大氣壓下(xia)工作，需🆚要預(yù)真空；有的💋真(zhen)空泵出口壓(yā)強低于大氣(qi)壓，需要前級(ji)泵，故㊙️都需要(yào)把泵組合起(qǐ)來使用。

　　5、真空(kong)設備對油污(wū)染的要求。若(ruò)設備嚴格要(yao)求無油時，應(yīng)該選各種無(wu)油泵，如：水環(huan)泵、分子篩吸(xi)附泵、濺🍉射離(lí)子泵🌈、低溫泵(bèng)等。如果要求(qiu)不嚴格，可以(yǐ)選擇有油泵(beng)，加上一些防(fang)油污染措施(shī)🧡，如加冷✔️阱、障(zhàng)闆、擋油阱等(děng)，也能達到清(qīng)潔真空要求(qiu)。

　　6、了解被抽氣(qì)體成分，氣體(ti)中含不含可(ke)凝蒸氣，有無(wu)顆粒灰塵，有(yǒu)無腐蝕性等(děng)。選擇真空泵(bèng)時，需要知道(dào)氣體成分，針(zhēn)對被抽氣體(ti)選擇相應的(de)泵。如果氣體(tǐ)中含有蒸氣(qi)、顆粒、及腐蝕(shi)性氣體，應該(gai)考慮在泵的(de)😍進氣口管路(lu)上安裝輔助(zhù)設備，如冷凝(níng)器✍️、除塵器等(deng)。

　　7、真空泵排出(chū)來的油蒸氣(qi)對環境的影(yǐng)響如何。如果(guǒ)環境不允許(xu)有污染，可以(yǐ)選無油真空(kōng)泵，或者把油(you)蒸氣排到室(shi)外。

　　8、真空泵工(gong)作時産生的(de)振動對工藝(yi)過程及環境(jìng)有無影響。若(ruò)工藝過程不(bu)允許，應選擇(ze)無振動的泵(bèng)或者采取防(fang)😘振動措施。

　　9、真(zhen)空泵的價格(ge)、運轉及維修(xiū)費用。

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